| 硅微静电加速度计的支承刚度特性 |
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| 引用本文： | 韩丰田,吴秋平,孙搏谦,张汉蒸,马高印. 硅微静电加速度计的支承刚度特性[J]. 中国惯性技术学报, 2014, 0(1): 100-103,124 |
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| 作者姓名： | 韩丰田 吴秋平 孙搏谦 张汉蒸 马高印 |
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| 作者单位： | ;1.清华大学精密仪器系;2.北京航天控制仪器研究所 |
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| 摘 要： | 静电加速度计通过降低带宽和量程在空间微重力环境下可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、平行六面体状检验质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,推导并讨论了静电支承回路的典型刚度特性与控制参数之间的关系式。采用基于DSP的数字控制器,实现了敏感质量的六自由度稳定支承,在大气环境下测试了静电支承回路的主要性能。分析与测试结果表明,在支承系统频带内,支承刚度特性与控制器参数及气膜阻尼系数密切相关;同时,改变预载电压可以在较大范围内在线调整加速度计的量程和支承刚度等指标。
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| 关 键 词： | 微机电系统 微机械加速度计 空间静电加速度计 静电支承 支承刚度 |
Suspension stiffness of micromachined electrostatically suspended accelerometers |
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