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| 碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响 | |
| 作者姓名： | 邱华檀 王友年 马腾才 |
| 作者单位： | 大连理工大学物理系、三束材料改性国家重点实验室,大连116024 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 (批准号 :19975 0 0 8和 19835 0 30 );国家教育部“跨世纪优秀人才培养计划”基金;“高等学校骨干教师资助计划”资助的课题 |
| 摘 要： | 考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型,并利用MonteCarlo模拟方法研究了入射到电极上的离子的能量分布和角度分布.数值结果表明:随着放电气压增加,入射到电极上离子的能量分布逐渐地由双峰分布变成单峰分布,而且低能离子的数目也逐渐地增加.入射到电极上的离子呈小角分布,而且放电气压等参数对角度分布的影响不是太明显.
关键词：
射频放电
等离子体
离子
鞘层 |
| 关 键 词： | 射频放电 等离子体 离子 鞘层 |
| 收稿时间： | 2001-10-02 |
| 修稿时间： | 2001-10-02 |
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