| 脉冲激光制备薄膜材料的机理 |
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| 引用本文： | 张端明,李智华,郁伯铭,黄明涛,关丽,钟志成,李国栋.脉冲激光制备薄膜材料的机理[J].中国科学A辑,2001,31(8):743-753. |
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| 作者姓名： | 张端明 李智华 郁伯铭 黄明涛 关丽 钟志成 李国栋 |
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| 作者单位： | (1)华中科技大学物理系 ,武汉 430074 ,中国;(2)湖北襄樊学院 ,襄樊 441000 ,中国 |
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| 基金项目： | 湖北省教育厅重大科研项目(批准号：2000B5002)和华中科技大学激光技术国家重点实验室基金资助项目 |
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| 摘 要： | 给出脉冲激光作用块状靶材的烧蚀模型.根据能量平衡原理，导出烧蚀面的位置随时间的变化关系.利用绝热近似、温度连续性条件和能量平衡原理来获得烧蚀面与固液相界面边界条件.结合热传导方程，利用精确解与积分近似法相结合的方案，给出固液两相的温度分布与时间和位置的变化关系，以及固液相界面的位置随时间的变化规律，并将理论结果与实验数据进行比较.由流体动力学理论，得出了脉冲激光产生的等离子体的空间输运方程，将此方程与靶材烧蚀率公式结合起来，根据实验数据研究了不同激光功率密度和波长对KTN(KTa0.65Nb0.35O3)薄膜沉积特性的影响，得到了一些有价值的结果，并对结果进行了详细的讨论.
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| 关 键 词： | 固液相界面 烧蚀面 等离子体 KTN薄膜 烧蚀率 |
| 收稿时间： | 2000-12-18 |
| 修稿时间： | 2000年12月18 |
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