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| 金属网栅法布里珀罗干涉仪测量太赫兹波波长 | |
| 作者姓名： | 蒋呈阅 蔡瑞 刘劲松 王可嘉 汪盛烈 |
| 作者单位： | 蒋呈阅:华中科技大学光电子科学与工程学院 武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430074 蔡瑞:华中科技大学光电子科学与工程学院 武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430074 刘劲松:华中科技大学光电子科学与工程学院 武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430074 王可嘉:华中科技大学光电子科学与工程学院 武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430074 汪盛烈:华中科技大学光电子科学与工程学院 武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430074 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(10974063, 61177095,60907045)、湖北省重点基金(2010CDA001)、教育部博士点基金(20100142110042)和中央高校基本科研业务费(2010MS041,2011TS001,2012QN094,2012QN097)资助课题。 |
| 摘 要： | 设计并制作了用于测量波长大于150 μm(频率低于2 THz)的太赫兹波波长的金属网栅法布里珀罗干涉仪(FPI)。采用光电子微纳制造工艺制作了五组周期不大于40 μm，线宽不大于10 μm的有衬底方形金属网栅，利用太赫兹时域光谱技术测量了金属网栅的太赫兹波段光电特性，得到了各组金属网栅在感兴趣频段的反射率和金属网栅FPI的反射精细度，结果表明所制作的金属网栅FPI均可用于测量波长大于150 μm的太赫兹波。实验搭建金属网栅FPI扫描测量了212 μm的太赫兹波波长，与理论结果吻合。研究了金属网栅FPI对太赫兹波偏振方向的依赖性以及对FPI腔镜平行度的要求，结果表明，方形金属网栅FPI对正入射太赫兹波偏振方向不敏感，而对FPI腔镜平行度很敏感。 |
| 关 键 词： | 光学器件 太赫兹波 金属网栅 法布里珀罗干涉仪 时域光谱术 |
| 收稿时间： | 2012-05-25 |