金刚石车削表面微纳织构的气囊抛光改进EI北大核心CSCD |
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引用本文: | 王朋,杜雪,回长顺.金刚石车削表面微纳织构的气囊抛光改进EI北大核心CSCD[J].光学学报,2015(3):262-268. |
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作者姓名: | 王朋 杜雪 回长顺 |
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作者单位: | 1.天津津航技术物理研究所300380;2.香港理工大学工业及系统工程学系超精密加工技术国家重点实验室; |
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基金项目: | 香港创新与科技基金(GHP/021/11) |
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摘 要: | 单点金刚石车削技术被广泛应用于光学表面的超精密加工。然而,车削表面固有的周期性残留刀痕结构将增强表面散射效应,恶化元件光学性能。为了抑制散射以获得高质量光学表面,采用气囊抛光技术主动改变车削表面周期性刀痕结构。基于Taguchi正交试验,以表面粗糙度及功率谱密度的改善率为设计指标,分析获得了最优抛光参数。采用该最优参数对一精车表面进行了抛光试验,抛光后表面粗糙度Ra由3.81 nm降到1.42 nm,各空间频率功率谱密度大幅降低,同时表面的衍射条纹消失。试验结果验证了所采用的抛光及相应优化方法的有效性,具有重要的工程应用价值。
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关 键 词: | 光学制造 金刚石车削 表面微观形貌 气囊抛光 参数优化 |
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