低温等离子体在刻蚀和无机合成上的应用

等离子体化学发展二十多年来,在化学的许多领域里取得了重大进展。由于等离子体化学反应有许多优于普通化学反应的特点,所以引起了化学界的普遍重视。本文对低温等离子体在刻蚀和无机合成上的应用做一简略介绍。