| 采用单线阵CCD测量工作台二维位移的研究 |
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| 引用本文： | 何树荣,张乐,鲍鹏.采用单线阵CCD测量工作台二维位移的研究[J].光学技术,2003,29(6):710-712. |
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| 作者姓名： | 何树荣 张乐 鲍鹏 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 973基金资助项目(G199903301) |
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| 摘 要： | 研究了一种采用单线阵CCD测量二维工作台位移的方法。提供给CCD一个发光面形状为直角三角形的被拍摄目标,该目标固结在二维工作台上。使被拍摄目标的像在CCD光敏线上的宽度和位置随二维工作台的位置而改变,通过用一个单线阵CCD测量出目标像的宽度和位置,就可以同时测量出二维工作台在正交的X和Y方向的位移。相对传统的二维位移测量系统来说,所提出的系统具有结构简单,测量速度快和成本低的优点。
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| 关 键 词： | 线阵CCD 二维工作台 位移测量 |
| 文章编号： | 1002-1582(2003)06-0710-03 |
| 修稿时间： | 2003年4月14日 |
Study on utilizing only one linear CCD array to measure two orthogonal displacements of two-dimensions stage |
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| Abstract: | A new method to measure two orthogonal displacements of a two dimensions precision stage with only one linear CCD array is presented. The target is captured by CCD which is a right angled triangle, and it is fixed on the two dimensions stage. The width of the target image and its location on linear CCD vary with the location of the stage. If the values of the width and the location are measured, X and Y direction displacements of the stage can be determined respectively and simultaneously. Compared with the traditional two dimensions displacement measurement system, the system demonstrated has many advantages: simple structure, fast measurement and low cost. |
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| Keywords: | linear CCD two-dimensions stage displacement measurement |
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