N型4H-SiC低温拉曼光谱特性 |
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作者姓名: | 苗瑞霞 赵萍 刘维红 汤晓燕 |
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作者单位: | 1. 西安邮电大学电子工程学院,陕西 西安 710121 2. 西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件重点实验室, 陕西 西安 710071 |
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基金项目: | 国家自然科学基金项目(61006060, 51302215)和陕西省教育厅科研基金项目(11JK0916)资助 |
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摘 要: | 利用拉曼散射技术对N型4H-SiC单晶材料进行了30~300 K温度范围的光谱测量。实验结果表明,随着温度的升高,N型4H-SiC单晶材料的拉曼峰峰位向低波数方向移动,峰宽逐渐增宽。分析认为,晶格振动随着温度的升高而随之加剧,其振动恢复力会逐渐减小,使振动频率降低;原子相对运动会随温度的升高而加剧,使得原子之间及晶胞之间的相互作用减弱,致使声学模和光学模皆出现红移现象。随着温度的升高,峰宽逐渐增宽。这是由于随着温度的升高声子数逐渐增加,增加的声子进一步增加了散射概率,从而降低了声子的平均寿命,而声子的平均寿命与峰宽成反比,因此随着温度的升高峰宽逐渐增宽。声子模强度随温度升高呈现不同规律,E2(LA),E2(TA),E1(TA)和A1(LA)声子模随着温度升高强度单调增加,而E2(TO),E1(TO)和A1(LO)声子模强度出现了先增后减的明显变化,在138 K强度出现极大值。分析认为造成原因是由于当温度高于138 K时,高能量的声子分裂成多个具有更低能量的声子所致。
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关 键 词: | 4H-SiC 拉曼光谱 声学模 光学模 |
收稿时间: | 2013-03-17 |
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