光学面形的轮带光学抛光方法研究 |
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引用本文: | 李宁,尹自强,田富竟. 光学面形的轮带光学抛光方法研究[J]. 应用光学, 2014, 35(1): 116 |
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作者姓名: | 李宁 尹自强 田富竟 |
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作者单位: | 李宁:国防科技大学 机电工程与自动化学院,湖南 长沙,410073 尹自强:国防科技大学 机电工程与自动化学院,湖南 长沙,410073 田富竟:国防科技大学 机电工程与自动化学院,湖南 长沙,410073
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基金项目: | “高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项资助项目(2010ZX04001-151);国家自然科学基金(51075393) |
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摘 要: | 鉴于光学零件高陡度凹曲面的抛光是光学加工的一个难题,轮带光学确定性抛光方法是解决此类零件抛光的有效方法之一;提出轮带光学抛光技术的原理和方法。研究了轮带光学抛光方法修形的可行性,采用五轴精密数控机床系统对一块直径Ф80 mm的K9玻璃平面样镜进行了修形试验,经过3次迭代修形使其面形精度均方根误差(RMS)由初始的0109 λ提高到0028 λ,平均每次收敛率达到13。实验结果表明,应用轮带光学抛光技术进行光学镜面修形,面形收敛速度较快,加工精度较高。本实验验证了轮带光学抛光技术的修形能力,为高陡度光学零件的抛光提供了研究基础。
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关 键 词: | 轮带光学抛光技术 光学抛光 面形精度 |
收稿时间: | 2013-06-17 |
Optical belt polishing for optical surface |
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Abstract: | |
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Keywords: | optical belt polishing technique optical polishing surface accuracy |
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