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| 干摩擦条件下基体粗糙度对Cr-DLC薄膜摩擦磨损性能的影响 | |
| 作者姓名： | 李振东 詹华 王亦奇 汪瑞军 方宪法 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 采用磁控溅射/等离子辅助气相沉积方法在不同粗糙度样品表面制备Cr掺杂类金刚石(Cr-DLC)薄膜,研究了干摩擦条件下,基体粗糙度对Cr掺杂类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响.结果表明:在低表面粗糙度样品上体现了Cr掺杂类金刚石薄膜良好的自润滑特性,平均摩擦系数在0.1以下,达到了油润滑条件的摩擦水平,磨损较小,磨损表面薄膜结构完整,未出现明显石墨化转变.在高表面粗糙度样品上,样品的平均摩擦系数提高了3~4倍,磨损剧烈,基体表面磨出了明显的沟槽,与其对摩的Si_3N_4球磨损严重. |
| 关 键 词： | 磁控溅射/等离子辅助气相沉积 不同基体粗糙度 干摩擦 Cr掺杂类金刚石薄膜 摩擦磨损性能 |
| 修稿时间： | 2016-07-08 |
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