| 高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究 |
| |
| 引用本文： | 张连翰,孙敦陆,钱小波,杭寅.高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究[J].人工晶体学报,2002,31(2):121-123. |
| |
| 作者姓名： | 张连翰 孙敦陆 钱小波 杭寅 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
| |
| 基金项目： | 国家"八六三"资助课题 |
| |
| 摘 要： | 本文以化学机械抛光为手段,以原子力显微镜(AFM)为工具,对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光进行研究.既观察到了由传统光学表面向超光滑表面过渡的过程,又观察到了超光滑表面加工的结果-表面的本征化.显示了超光滑表面抛光对外延衬底表面的重要性.
|
| 关 键 词： | 铝酸镧单晶 高温超导 衬底材料 超光滑表面抛光 |
| 文章编号： | 1000-985X(2002)02-0121-03 |
| 修稿时间： | 2001年12月5日 |
Study on the Super-smooth Surface Polishing of the High Temperature Superconductor Film Substrate LaAlO3 Single Crystal |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《人工晶体学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《人工晶体学报》下载免费的PDF全文 |
|
