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| 熔石英的快速激光刻蚀 | |
| 引用本文： | 潘大任. 熔石英的快速激光刻蚀[J]. 光学学报, 1988, 0(8) |
| 作者姓名： | 潘大任 |
| 作者单位： | 四川大学物理系 |
| 摘 要： | 使用10.6μm连续波CO_2激光和几种工作气体,对熔石英实现了快速的激光刻蚀.得到了刻蚀速度高于200μm/s的干净、光滑的表面;并根据所提出的机理对观察到的实验结果进行了解释. |
| 关 键 词： | 材料加工 激光刻蚀 熔石英 |
Rapid laser etching of fused SiO_2 |
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| PAN DAREN. Rapid laser etching of fused SiO_2[J]. Acta Optica Sinica, 1988, 0(8) | |
| Authors: | PAN DAREN |
| Abstract: | |
| Keywords: | material processing laser etching fused SiO_2. |
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