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溅射制备铁电薄膜及其性能测试的研究

引用本文：	黄龙波,李佐宜.溅射制备铁电薄膜及其性能测试的研究[J].人工晶体学报,1994,23(4):291-295.

作者姓名：	黄龙波李佐宜

摘要：
关键词：	铁电晶体薄膜溅射性能测试
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