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| 微波退火和快速热退火下钛调制镍与锗锡反应 | |
| 作者姓名： | 刘伟 平云霞 杨俊 薛忠营 魏星 武爱民 俞文杰 张波 |
| 摘 要： | 本文研究了1 nm钛作为插入层的条件下,镍与锗锡合金在不同退火温度下的固相反应,比较了微波退火和快速热退火对镍锗锡化物形成的影响.研究结果表明:在微波退火300℃、快速热退火350℃条件下,可以形成连续平整的镍锗锡薄膜.通过进一步分析镍锗锡薄膜的元素分布,发现1 nm钛插入层发生"层转移"现象,钛在镍与锗锡合金反应后分... |
| 关 键 词： | 微波退火 快速热退火 锗锡合金 钛插入层 |