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激光差动共焦干涉高精度测量技术及仪器

作者单位：	北京理工大学光电学院,复杂环境智能感测技术工信部重点实验室,北京 100081

基金项目：	国家重点研发计划;国家自然科学基金

摘要：
关键词：	测量差动共焦干涉球面光学元件高精度测量层析定焦共基准测量
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