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| 物理汽相淀积薄膜的微结构和内应力 | |
| 作者姓名： | 朱贤方 Ｊ．Ｓ．Ｗｉｌｉａｍｓ Ｌ．Ｃ．Ｌｉｍ ＳａｍＺｈａｎｇ 吴自勤 |
| 作者单位： | 澳大利亚国立大学电子材料工程系，新加坡国立大学材料科学部，南洋技术大学工艺研究所，中国科学技术大学基础物理中心 |
| 摘 要： | 文章综述的内容为：（１）物理汽相淀积（ＰＶＤ）薄膜的微结构；（２）ＰＶＤ薄膜的内应力；（３）膜的微结构和内应力的关系．着重介绍制备参数对微结构、内应力和两者之间的主要联系的影响．提出了确立两者的联系还需进一步研究的问题和优化微结构和内应力的一个途径———梯度膜 |
| 关 键 词： | PVD薄膜，微结构，内应力 |
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