| 基于WO3- Pd复合膜的D型光纤光栅氢气传感器 |
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| 引用本文： | 代吉祥,杨明红,程芸,曹坤,廖俊生,张鹏程.基于WO3- Pd复合膜的D型光纤光栅氢气传感器[J].光子学报,2011,40(7):1003-1007. |
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| 作者姓名： | 代吉祥 杨明红 程芸 曹坤 廖俊生 张鹏程 |
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| 作者单位： | 1. 武汉理工大学光纤传感技术中心,武汉,430070
2. 中国工程物理研究院表面物理与化学重点实验室,四川绵阳,621907 |
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| 基金项目： | 表面物理与化学国家重点实验室开放基金 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射方法在侧边抛磨的光纤光栅(D型光纤光栅)上溅射40 nm WO3-Pd复合薄膜,制作了D型光纤光栅氢气传感器.40 nm WO3-Pd复合薄膜是由5 nm的WO3、5 nm的wO3/Pd混合膜和30 nm的Pd薄膜组成.实验中,首先采用射频溅射技术向D型光纤光栅溅射5 nmWO3薄膜,再利用共溅射技术溅射5...
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| 关 键 词： | D型光纤光栅 磁控溅射 WO3- Pd复合膜 氢气传感器 |
Hydrogen Sensor Based on D-shaped Fiber Bragg Grating Coated with WO3-Pd Composite Films |
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| DAI Ji-xiang,YANG Ming-hong,CHEN Yun,CAO Kun,LIAO Jun-sheng,ZHANG Peng-cheng.Hydrogen Sensor Based on D-shaped Fiber Bragg Grating Coated with WO3-Pd Composite Films[J].Acta Photonica Sinica,2011,40(7):1003-1007. |
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| Authors: | DAI Ji-xiang YANG Ming-hong CHEN Yun CAO Kun LIAO Jun-sheng ZHANG Peng-cheng |
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