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| 正入射软X-射线显微成像系统聚光镜设计 | |
| 引用本文： | 王占山, 曹健林, 陈星旦. 正入射软X-射线显微成像系统聚光镜设计[J]. 强激光与粒子束, 1998, 10(01). |
| 作者姓名： | 王占山 曹健林 陈星旦 |
| 作者单位： | 1.中国科学院长春光学精密机械研究所, 应用光学国家重点实验室, 长春, 1 30022 |
| 摘 要： | 依据正入射软X 射线显微成像系统对聚光镜的要求, 论述了采用掠入射聚光镜是最佳选择。在分析聚光镜几何参数的基础上, 决定了确定椭球面聚光镜的方法。在考虑材料反射特性和实际制作椭球面镜方法的同时, 确定了要研制的高分辨率显微成像系统用聚光镜的结构参数。 |
| 关 键 词： | 软X-射线 显微成像系统 聚光镜 掠入射 |
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