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用原子力显微镜4π旋转技术测量靶丸表面粗糙度
引用本文:
高党忠,王明达,刘元琼.用原子力显微镜4π旋转技术测量靶丸表面粗糙度[J].强激光与粒子束,1999,11(3).
作者姓名:
高党忠
王明达
刘元琼
作者单位:
中国工程物理研究院核物理与化学研究所, 成都525信箱79分箱, 610003
摘 要:
原子力显微镜靶丸4π旋转装置,可以将靶丸在夹持状态下实现4π方向旋转,便于原子力显微镜对靶丸表面任一部分做扫描测量。应用该装置对各种靶丸的表面形貌进行了测量,测量结果表明,靶丸外表面粗糙度小于10nm,内表面粗糙度小于20nm。
关 键 词:
原子力显微镜
靶丸4π旋转测量装置
ICF靶参数测量
收稿时间:
1900-01-01;
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