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金刚石薄膜在不同金属衬底上的低温沉积

引用本文：	杨保雄,吕反修.金刚石薄膜在不同金属衬底上的低温沉积[J].人工晶体学报,1993,22(2):183-188.

作者姓名：	杨保雄吕反修

摘要：
关键词：	金刚石薄膜化学汽相沉积碳化物
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