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| 离子注入物理在微电子技术中的应用 | |
| 作者姓名： | 张延曹 袁玄义 王永昌 |
| 作者单位： | 空军导弹学院基础部,陕西713800 |
| 摘 要： | 微电子技术是在半导体芯片上采用微米或亚微米级加工工艺制造微小型电子元器件和微型化电路的新兴技术。这一技术是现代高科技腾飞的翅膀,是现代信息技术的基石,是世界新技术革命的先导。60年代以来,微电子技术的发展突飞猛进。 |
| 关 键 词： | 离子注入 微电子技术 半导体器件 化合物半导体材料 扩散工艺 MOSFET 阈值电压 二极管 微波晶体管 电子迁移率 |
| 收稿时间： | 1995-03-10 |
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