| 一种微型FAIMS传感器芯片的研制 |
| |
| 作者姓名： | 李华 王晓浩 唐飞 张亮 杨吉 吝涛 丁力 |
| |
| 作者单位： | State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, P. R. China; School of Electronics and Computer Science and Technology, North University of China, Taiyuan 030051, P. R. China;3.Shimadzu Research Laboratory (Shanghai) Co., Ltd., Shanghai 201201, P. R. China |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,国家自然科学基金仪器专项,国家高技术研究发展计划(863)项目 |
| |
| 摘 要： | 基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm×5mm×0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒,能同时检测正负离子.采用频率为2MHz,最大电压为364V,占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品,载气流速80L·h-1,补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描,得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图,验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能.
|
| 关 键 词： | 高场非对称波形离子迁移谱 微机电系统 高场非对称方波 微法拉第杯 |
| 收稿时间： | 2009-10-28 |
| 修稿时间： | 2010-03-23 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《物理化学学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《物理化学学报》下载全文 |
|
