|
|||||
|
|
| 梯度组分缓冲层诱导的单一立方相Mg_(0.3)Zn_(0.7)O薄膜外延生长 | |
| 引用本文： | 郑剑,张振中,王立昆,韩舜,张吉英,刘益春,王双鹏,姜明明,李炳辉,赵东旭,刘雷,刘可为,单崇新,申德振.梯度组分缓冲层诱导的单一立方相Mg_(0.3)Zn_(0.7)O薄膜外延生长[J].发光学报,2014,35(9):1040. |
| 作者姓名： | 郑剑 张振中 王立昆 韩舜 张吉英 刘益春 王双鹏 姜明明 李炳辉 赵东旭 刘雷 刘可为 单崇新 申德振 |
| 作者单位： | 郑剑:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033中国科学院大学, 北京100049 张振中:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 王立昆:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033中国科学院大学, 北京100049 韩舜:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 张吉英:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 刘益春:东北师范大学 先进光电功能材料研究中心, 吉林 长春130024 王双鹏:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 姜明明:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 李炳辉:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 赵东旭:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 刘雷:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 刘可为:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 单崇新:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 申德振:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(2011CB302006,2011CB302002); 国家自然科学基金(61376054,11174273,11104265,61177040)资助项目 |
| 摘 要： | 为了实现MgZnO合金带隙全跨度调制,利用低压MOCVD设备,在c面蓝宝石衬底上采用MgO籽晶层和组分渐变缓冲层控制立方相MgxZn1-xO薄膜的生长,获得了Zn组分达到0.7的单一立方相MgxZn1-xO薄膜,把MgZnO合金带隙调制范围从MgO一侧扩展到了4.45 eV,覆盖了整个日盲紫外波段。对比实验分析表明,这种高Zn组分立方相MgZnO薄膜的生长得益于缓冲层晶格模板的结构诱导作用和适宜的生长温度(350~400℃)。Mg0.3Zn0.7O基MSM结构紫外探测器响应峰位于270 nm,截止波长295 nm。 |
| 关 键 词： | 立方MgZnO 缓冲层 带隙调制 |
| 收稿时间： | 2014/4/11 |
Controlled Growth of Pure Cubic Mg0.3Zn0.7O Thin Films on c-plane Sapphire by Introducing Graded Buffer Layer |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | cubic MgZnO buffer layer bandgap modulation |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |