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| 退火温度对声表面波检测器电极 表面粗糙度的影响* | |
| 作者姓名： | 王剑 安燕 刘明华 刘久玲 何世堂 |
| 作者单位： | 天津航海仪器研究所,中国科学院声学研究所,中国科学院声学研究所,中国科学院声学研究所,中国科学院声学研究所 |
| 基金项目： | 国家重点研发子课题项目 (2017YFC0803603-Z04) |
| 摘 要： | 该文实验研究了退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响。电极表面的粗糙度随着退火温度不同而变化,实验中分别选择常温(25?C)、200?C和300?C作为退火温度对两种镀膜方式制备的声表面波器件进行退火,最后得到退火温度和电极表面粗糙度的对应关系。从实验结果来看,退火温度为200?C时,得到的电极表面粗糙度最大。该研究为声表面波检测器表面粗糙度优化及灵敏度提升提供了基础。 |
| 关 键 词： | 声表面波 粗糙度 退火温度 传感器 |
| 收稿时间： | 2018-11-16 |
| 修稿时间： | 2018-12-20 |
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