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| 软X射线多层膜及多层膜光栅的研究进展 | |
| 引用本文： | 熊刚,刘文汉,吴自勤. 软X射线多层膜及多层膜光栅的研究进展[J]. 物理, 1999, 28(5): 285-289,313 |
| 作者姓名： | 熊刚 刘文汉 吴自勤 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学物理系 |
| 摘 要： | 对目前的几种软Ｘ射线光学元件的性能作了简要的阐述和分析。综合介绍了多层膜作为软Ｘ射线光学元件的新进展。同时对多层膜光栅这种新型软Ｘ射线光学元件的原理、性能、制作工艺进行了详细的说明。 |
| 关 键 词： | 多层膜 多层膜光栅 软X射线 研究进展 光学元件 |
MULTILAYER FILMS AND GRATINGS FOR THE SOFT XRAY REGION |
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| Xiong Gang Liu Wenhan Wu Ziqin. MULTILAYER FILMS AND GRATINGS FOR THE SOFT XRAY REGION[J]. Physics, 1999, 28(5): 285-289,313 | |
| Authors: | Xiong Gang Liu Wenhan Wu Ziqin |
| Abstract: | An outline is given of the properties of various commonly used soft X-ray optical equipment. Recent development of multilayers in soft X-ray optics is described, with a detailed account of the theory, properties and manufacture of a new type of soft X-ray optics, multilayer gratings. |
| Keywords: | multilayer multilayer gratings soft X-ray |
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