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沉积参数对PACVD沉积c—BN薄膜形成的影响

引用本文：	可若.沉积参数对PACVD沉积c—BN薄膜形成的影响[J].等离子体应用技术快报,1994(7):16-17.

作者姓名：	可若

摘要：
关键词：	等离子体化学气相沉积参数 c－BN薄膜
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