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| 实现光束变换的连续位相衍射光学器件的研制 | |
| 作者姓名： | 谭峭峰 严瑛白 金国藩 邬敏贤 付绍军 徐向东 洪义麟 |
| 作者单位： | 清华大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084;中国科技大学,国家同步辐射实验室,安徽合肥,230026 |
| 基金项目： | 国家高技术863 416 资助,国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 本文利用基于模拟退火法和爬山法相结合的混合优化算法,实现光束变换的连续位相衍射光学器件的设计。通过灰阶掩膜板及离子刻蚀工艺,研制了 Φ１００ｍ ｍ 的连续位相衍射光学器件。通过多级衰减片及ＣＣＤ 实现了焦斑光强分布测量。测量结果表明：边缘陡峭、旁瓣小、中心主瓣具有一定均匀性,且没有中心零级锐脉冲的焦斑光强分布 |
| 关 键 词： | 光束变换 连续位相 衍射光学器件 |
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