| 一种类富勒烯碳膜与不同偶件对摩时的摩擦学行为及其机制研究 |
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| 引用本文： | 王霞,王鹏,张斌,杨生荣,张俊彦. 一种类富勒烯碳膜与不同偶件对摩时的摩擦学行为及其机制研究[J]. 摩擦学学报, 2008, 28(4) |
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| 作者姓名： | 王霞 王鹏 张斌 杨生荣 张俊彦 |
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| 作者单位： | 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州,730000;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州,730000 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金，中国科学院"百人计划"项目 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射钛靶,以甲烷和氩气为前驱体,在单晶硅片表面制备了类富勒烯碳薄膜,采用高分辨率透射电子显微镜对薄膜的微观形貌进行了表征,采用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度及弹性回复,在球-盘微摩擦试验机上考察了薄膜与不同偶件（Si3N4球、Al2O3球、钢球）对摩的摩擦学行为.结果表明,薄膜具有类富勒烯结构特征,薄膜的硬度为20.9 GPa,对应的弹性回复高达85%.薄膜的摩擦性能与摩擦偶件相关：FL-C薄膜与Si3N4球对摩时磨屑在Si3N4球接触面充分覆盖,所形成的转移膜充当固体润滑剂而有效降低了摩擦系数;FL-C薄膜与钢球对摩时,由于钢球硬度远低于FL-C薄膜硬度,导致钢球在较高的接触压力下发生变形而使其表面粗糙度变大,摩擦系数增大,且FL-C薄膜表面发生了较为强烈的摩擦氧化反应,破坏了薄膜的原始结构,新生成的氧化聚合物结构较为疏松,在摩擦剪切作用下易于发生磨损.
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| 关 键 词： | 类富勒烯碳膜 摩擦学行为 转移膜 摩擦氧化反应 |
Study on Tribological Behavior and Mechanism of Fullerene-like Hydrogenated Carbon (FL-C) Film Sliding Against Different Counterparts |
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| WANG Xia,WANG Peng,ZHANG Bin,YANG Sheng-rong,ZHANG Jun-yan. Study on Tribological Behavior and Mechanism of Fullerene-like Hydrogenated Carbon (FL-C) Film Sliding Against Different Counterparts[J]. Tribology, 2008, 28(4) |
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| Authors: | WANG Xia WANG Peng ZHANG Bin YANG Sheng-rong ZHANG Jun-yan |
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