| 由组分可控的LB膜前驱物法制备Y2O3稳定立方相ZrO2的超薄陶瓷膜 |
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| 引用本文： | 邹纲,方堃,宋海政,何平笙.由组分可控的LB膜前驱物法制备Y2O3稳定立方相ZrO2的超薄陶瓷膜[J].化学物理学报(中文版),2002,15(5). |
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| 作者姓名： | 邹纲 方堃 宋海政 何平笙 |
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| 作者单位： | 邹纲,方堃,何平笙(中国科学技术大学,高分子科学与工程系,合肥,230026);宋海政(中国科学技术大学材料科学与工程系,合肥,230026)
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| 摘 要： | 由有机LB膜技术发展了一种制备组分、厚度可控的无机超薄陶瓷膜的方法.以Zr、 Y的β-二酮络合物的作为"表面离子"代替传统的亚相离子,沉积它们与花生酸的混合LB膜.并将它作为前驱物,经臭氧处理和热处理,成功制得了Y2O3稳定的立方相ZrO2超薄膜(YSZ).用X射线衍射(XRD)、 X射线光电子能谱(XPS)等手段研究了YSZ薄膜的相结构和其组成.结果表明,超薄陶瓷膜中Zr与Y的含量比率控制得很好,且形成Y2O3稳定的立方相ZrO2.说明这种方法可以成功地用来制备组分和膜厚均可控的纳米陶瓷膜.
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| 关 键 词： | 锆β-二酮络合物 钇β-二酮络合物 LB膜技术 纳米陶瓷膜 |
Fabrication of Y2O3-stablized ZrO2 Ultrathin Film by Newly Developed Component-Controllable Langmuir-Blodgett Method |
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