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| 信息光学 光学记录、存储与器件 | |
| 摘 要： | TP333.4 2004053598 光盘基片平整度的相移干涉测量方法=Phase-shifting interferometry to the flatness of a compact disk刊,中]/苏俊宏(西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西,西安(710032)),陈磊…∥光电工程。—2004,31(1),—29-31 使用工作波长为10.6μm的红外激光平面干涉仪对光盘基片的表面面形进行了移相式干涉法测试,对测试 |
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