| 自集成透镜InGaAsP／InPDHLED及其离子束铣技术 |
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| 引用本文： | 肖德元 郭康瑾. 自集成透镜InGaAsP／InPDHLED及其离子束铣技术[J]. 光学学报, 1991, 11(1): 1-77 |
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| 作者姓名： | 肖德元 郭康瑾 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所 上海 200050，上海 200050，上海 200050，上海 200050，上海 200050，上海 200050，上海 200050，上海 200050 |
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| 摘 要： | 本文报道在国内首次采用离子束铣技术研制自集成透镜InGaAsP/InP DH LED的实验结果。采用烘烤正性光致抗蚀剂来形成球状掩膜适合于离子束铣,且重复性很好。为了获得光洁的刻蚀表面,刻蚀条件均已最优化。
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| 关 键 词： | 自集成透镜 发光二极管 光纤通信 |
| 收稿时间： | 1990-05-02 |
A novel integral lensed InGaAsP/InP DH LED and ion-beam milling technigue |
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| XIAO DEYUAN,GUO KANGJIN,FU XINDING,XU SHAOHUA,FANG HONGLI,ZHANG JIANPING,CHENG QIYU AND CHENG RUIZHANY. A novel integral lensed InGaAsP/InP DH LED and ion-beam milling technigue[J]. Acta Optica Sinica, 1991, 11(1): 1-77 |
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| Authors: | XIAO DEYUAN GUO KANGJIN FU XINDING XU SHAOHUA FANG HONGLI ZHANG JIANPING CHENG QIYU AND CHENG RUIZHANY |
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| Abstract: | We report the results of fabrication of integral lensed GaInAsP LED by using ion-beam milling technigue firstty in China. Baking a positive acting photoresist layer was found to facilitate a very reproducible method of forming a spherical mask suitable for ion-beam milling. Characteristics of Ar ion-beam milling of InP and mask was studied, and milling parameters are optimized for obtaining optically smooth etched surfaces. |
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| Keywords: | integral lense. light emitting diode optical oommunioation. |
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