| 基于光学三角法的芯片凸点高度测量 |
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| 引用本文： | 王棚,孟繁昌,张滋黎,王德钊,王珊,姚恩涛,王磊,叶瑞乾. 基于光学三角法的芯片凸点高度测量[J]. 光子学报, 2022, 51(5): 330-338. DOI: 10.3788/gzxb20225105.0512001 |
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| 作者姓名： | 王棚 孟繁昌 张滋黎 王德钊 王珊 姚恩涛 王磊 叶瑞乾 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学 自动化学院,南京 211100;中国科学院微电子研究所,北京 100029,中国科学院微电子研究所,北京 100029,中国科学院微电子研究所,北京 100029;长春理工大学,长春 130022,南京航空航天大学 自动化学院,南京 211100,厦门大学,福建 厦门 361101 |
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| 摘 要： | ![]()
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| 关 键 词： | 光学三角法 显微测量 凸点高度测量 参数标定 不确定度分析 |
A Bump Height Measurement Method Based on Optical Triangulation |
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| WANG Peng,MENG Fanchang,ZHANG Zili,WANG Dezhao,WANG Shan,YAO Entao,WANG Lei,YE Ruiqian. A Bump Height Measurement Method Based on Optical Triangulation[J]. Acta Photonica Sinica, 2022, 51(5): 330-338. DOI: 10.3788/gzxb20225105.0512001 |
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| Authors: | WANG Peng MENG Fanchang ZHANG Zili WANG Dezhao WANG Shan YAO Entao WANG Lei YE Ruiqian |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | |
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