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3英寸氧化镁基底上沉积DyBCO高温超导薄膜
作者单位:天津海泰超导电子有限公司,天津300384;天津师范大学,天津300387
摘    要:采用多源共蒸发技术在3英寸氧化镁基底上沉积了具有优异性能的DyBCO高温超导薄膜。用台阶仪对薄膜的厚度进行测量,结果显示超导薄膜厚度在650 nm左右。在77 K的液氮中,对薄膜的临界电流密度J_c进行测量,薄膜表面的临界电流密度J_c都大于2.4 MA/cm~2,且均匀性良好。

关 键 词:多源共蒸发  3英寸氧化镁  高温超导薄膜  DyBCO
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