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| 微电磁光开关的结构设计与性质模拟 | |
| 引用本文： | 吴雅苹,陈晓航,吴志明.微电磁光开关的结构设计与性质模拟[J].物理实验,2019(9). |
| 作者姓名： | 吴雅苹 陈晓航 吴志明 |
| 作者单位： | 厦门大学物理科学与技术学院;厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室;厦门大学物理系半导体光电材料及其高效转换器件协同创新中心 |
| 摘 要： | 基于微电磁光开关的工作原理,设计了MEMS电磁反射型光开关.采用ANSYS 9.0有限元软件分析结合Mathematica数值计算研究了微电磁光开关所需的电磁力、磁芯线圈的磁场分布、悬臂梁受电磁力的形变状态,从而获得磁芯线圈的匝数、悬臂梁位置、悬臂梁与平面磁芯线圈接触区域等结构参量. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |