| 短管螺旋波放电中等离子体参数测量和模式转化研究 |
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| 作者姓名： | 赵高 熊玉卿 马超 刘忠伟 陈强 |
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| 作者单位： | 1. 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室, 北京 102600;2. 兰州物理研究所, 真空技术与物理重点实验室, 兰州 730000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:11175024,11375031);科技部十二五科技支撑项目(批准号:2011BAD24B01);国家科技支撑计划(批准号:E-b-2012-40);北京印刷学院重点项目(批准号:23190113051);北京印刷学院科研基金;真空技术与物理重点实验室开放基金资助的课题~~ |
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| 摘 要： | 对长度为45 cm的短放电管螺旋波放电等离子体进行了Langmuir探针、原子发射光谱以及集成电荷耦合检测器(ICCD)检测诊断,研究螺旋波等离子体的放电特性.Langmuir探针数据显示电子密度在射频功率增加过程中出现两次大幅增长,由此确认了放电模式的转换及螺旋波放电模式的出现.发射光谱测量结果与Langmuir探针测量的电子密度数据一致,发现Ar原子和Ar离子的谱线强度与放电模式变化有着密切相关性.而通过对不同放电模式的ICCD测量,获得射频功率吸收因放电模式转变而变化的方式,认为放电模式转换时电子行为和能量传递方式也发生着变化.
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| 关 键 词： | 螺旋波放电 原子发射光谱 集成电荷检测器 径向区域的变化 |
| 收稿时间： | 2014-03-18 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
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