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| 离子束溅射原位沉积制备YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜 | |
| 引用本文： | 郝建华,赵兴荣,周方桥,易新建,李再光.离子束溅射原位沉积制备YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜[J].低温物理学报,1993(4). |
| 作者姓名： | 郝建华 赵兴荣 周方桥 易新建 李再光 |
| 作者单位： | 华中理工大学光电子工程系，华中理工大学光电子工程系，华中理工大学光电子工程系，华中理工大学光电子工程系，中国科学技术大学激光技术国家重点实验室 武汉 430074，武汉 430074，武汉 430074，武汉 430074，武汉 430074 |
| 摘 要： | 利用离子束溅射技术在ZrO_2衬底上原位制备出YBa_2Cu_3O_(7-δ)高温超导薄膜。薄膜的零电阻温度T_(co)=88K,临界电流密度J_c(77K)=5.2×10~5A/cm~2用X射线衍射和扫描电镜分析了薄膜特性。本文结果表明用离子束溅射法可原位沉积制备出高质量的超导薄膜。 |
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