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| 溅射MoS_2膜的特征形态及摩擦变化 | |
| 引用本文： | Talivaldis,Spalvins,张平余.溅射MoS_2膜的特征形态及摩擦变化[J].摩擦学学报,1985,5(4). |
| 作者姓名： | Talivaldis Spalvins 张平余 |
| 作者单位： | 克利夫兰市国立航空及航天管理局路易斯研究中心，克利夫兰市国立航空及航天管理局路易斯研究中心 美国俄亥俄州44135，美国俄亥俄州44135 |
| 摘 要： | 溅射MoS_2膜显微结构的生长可分为与膜厚有关的三个阶段:(1)成核时形成突起,(2)等轴转化区域和(3)针状结构。每个生长阶段是依据微晶的大小、形状和排列方向来表征的。有效润滑膜的厚度是依据滑动试验时显微结构生长阶段来确定的,此膜在柱状结构区域有破裂的倾向,实际润滑由保留下的0.18～0.22微米厚的膜来完成。为了评价溅射MoS_2膜的完整性还提出了一种直观的方法。润滑性能是用擦抹前后的光学性能变化来识别的,微晶的取向导致所观察到的光学上反射性的变化。 |
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