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| φ150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计 | |
| 引用本文： | 田伟,王平,王汝冬,隋永新,王立朋,杨怀江.φ150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计[J].光学技术,2011,37(3):275-278. |
| 作者姓名： | 田伟 王平 王汝冬 隋永新 王立朋 杨怀江 |
| 作者单位： | 应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春130033 |
| 基金项目： | 国家科技重大专项-02专项基金资助(2009ZX02205) |
| 摘 要： | 在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,必须对高精度菲索干涉仪的标准镜的自重和温度变形进行严格地控制.针对高精度菲索干涉仪标准镜的精度要求,设计了一种新的标准镜装卡结构.采用有限元方法分析了标准镜在胶接方式下的表面变形情况,参考面表面变形峰谷(PV)值仅为9.6nm,均方根(RMS)值为2.1nm.同时对不同... |
| 关 键 词： | 应用光学 菲索干涉仪 标准镜 镜面支承 有限元法 |
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