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| 激光技术在集成电路测试中的应用 | |
| 引用本文： | 王威礼,宋菲君.激光技术在集成电路测试中的应用[J].物理,1988(9). |
| 作者姓名： | 王威礼 宋菲君 |
| 作者单位： | 北京大学物理系 (王威礼)，北京信息光学仪器研究所(宋菲君) |
| 摘 要： | 基于半导体光电导的基本物理现象，利用激光束在集成电路器件表面的扫掠，可测出诱导的光电流变化．通过微机信息处理系统可研究器件表面沟道或反型层、Ｐ－Ｎ结的局部击穿，ＣＭＯＳ（互补金属氧化物半导体器件）随机存贮器的锁位现象，还可进行运算放大器可靠性和超大规模集成电路逻辑状态的分析等． |
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