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用离子束诱导CVD制备TiO2和Al2O3薄膜

引用本文：	笑生.用离子束诱导CVD制备TiO2和Al2O3薄膜[J].等离子体应用技术快报,1995(12):5-7.

作者姓名：	笑生

摘要：
关键词：	CVD 薄膜二氧化钛三氧化二铝
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