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探测器级单晶金刚石材料的生长
引用本文:刘金龙,李成明,朱肖华,邵思武,陈良贤,魏俊俊. 探测器级单晶金刚石材料的生长[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(11): 1990-1991
作者姓名:刘金龙  李成明  朱肖华  邵思武  陈良贤  魏俊俊
作者单位:北京科技大学新材料技术研究院,北京,100083
摘    要:
采用高质量高温高压单晶金刚石衬底,通过等离子体环境净化的方法获得高纯、低缺陷密度金刚石材料,有望应用于医疗、核、宇宙射线等辐射探测器.采用微波化学气相沉积方法成功外延生长出了8 mm×8 mm的高质量单晶金刚石材料.晶体内无明显的应力集中区,X射线摇摆曲线(004)峰半高宽0.008°,PL光谱中未见与氮相关杂质,基于电子顺磁共振测试孤氮杂质含量为23ppb.

关 键 词:金刚石  探测器  氮杂质  位错密度,

Growth of Detector Grade Single Crystal Diamond
LIU Jin-long,LI Cheng-ming,ZHU Xiao-hua,SHAO Si-wu,CHEN Liang-xian,WEI Jun-jun. Growth of Detector Grade Single Crystal Diamond[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2019, 48(11): 1990-1991
Authors:LIU Jin-long  LI Cheng-ming  ZHU Xiao-hua  SHAO Si-wu  CHEN Liang-xian  WEI Jun-jun
Abstract:
Keywords:
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