| 单压电执行器阵列驱动的变形镜的制备与表征 |
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| 引用本文： | 钟贵明,韩小帅,张昕,等. 单压电执行器阵列驱动的变形镜的制备与表征［J］.光子学报,2022,51（1）：0151125DOI：10.3788/gzxb20225101.0151125 |
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| 作者姓名： | 钟贵明 韩小帅 张昕 娄军强 马剑强 |
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| 作者单位： | .宁波大学 机械工程与力学学院,浙江 宁波 315211 |
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| 基金项目： | National Natural Science Foundation of China(51805280);Open Project of State Key Laboratory of Industrial Control Technology(ICT2021B44);Basic Scientific Research Funds of Zhejiang Provincial Universities(SJLY2020002) |
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| 摘 要： | 为降低压电执行器阵列式变形镜的成本,提出了一种由单压电执行器阵列驱动的低成本变形镜.制备了 19单元50 mm 口径的变形镜样机,建立了基于Shack-Hartmann传感器的 自适应光学测试系统,并对单个执行器性能、校正性能、镜面校平性能、变形镜频率响应特性进行了表征.测试结果显示,制备的变形镜单个执行器在50 V电...
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| 关 键 词： | 变形镜 单压电执行器 自适应光学 波前像差 像差校正 |
| 收稿时间： | 2021-09-05 |
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