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| 射频电感耦合夹层等离子体中的模式转换 | |
| 作者姓名： | 杜寅昌 曹金祥 汪建 郑哲 刘宇 孟刚 任爱民 张生俊 |
| 作者单位： | 1. 中科院基础等离子体物理重点实验室,中国科学技术大学近代物理系,合肥230026 2. 试验物理与计算数学实验室,北京,100076 |
| 摘 要： | 本文利用微波相位法和光谱诊断法, 研究了ICP放电等离子体在圆台状夹层等离子体中E模和H模相互转换的物理现象. E模和H模的之间转换过程是一个瞬间突变的, 转换点的输入功率随真空室压强的变化而变化. H模向E模转换的阈值功率低于E模向H模转换的值, 等离子体参数随输入功率变化曲线类似于铁磁物质中的磁滞回线. Ar II 408.2 nm谱线的强度的变化规律和电子密度随功率变化的规律基本一致. 通过本实验可以获得一种电子密度范围为3.85×1011 cm-3 < ne < 4.68× 1011 cm-3, 外表面积为0.3 m2, 厚度为2 cm稳定工作的等离子体源. |
| 关 键 词： | ICP放电 E-H模 等离子体源 等离子体光谱 |
| 收稿时间： | 2011-06-27 |
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