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Al2O3透明多晶薄膜材料结构的XPS表征

引用本文：	苏春辉,杨崴.Al2O3透明多晶薄膜材料结构的XPS表征[J].人工晶体学报,1997,26(3):335-335.

作者姓名：	苏春辉杨崴

摘要：
关键词：	晶体结构溶胶凝胶法氧化铝薄膜 XPS表征
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