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晶粒尺寸和取向对金刚石膜热导率的影响

引用本文：	顾长志,金曾孙.晶粒尺寸和取向对金刚石膜热导率的影响[J].人工晶体学报,1997,26(3):327-327.

作者姓名：	顾长志金曾孙

摘要：
关键词：	CVD法热导率金刚石薄膜晶粒尺寸
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