| 一种新型谐振式微机电系统扫描镜及其利萨如图形显示 |
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| 作者姓名： | 燕斌 苑伟政 乔大勇 刘耀波 |
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| 作者单位： | 1.西北工业大学微/纳米系统实验室,陕西西安,710072;2.西北工业大学微/纳米系统实验室,陕西西安,710072;3.西北工业大学微/纳米系统实验室,陕西西安,710072;4.西北工业大学微/纳米系统实验室,陕西西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50805123)和教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0075)资助课题。 |
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| 摘 要： | 研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型谐振式扫描镜,该扫描镜采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺,静电梳齿驱动,利用工艺中残余应力的释放产生垂直梳齿偏差.作为启动电极.针对该器件的机电性能,设计并搭建了一套光学系统测试其性能.结果表明,该器件具有加工工艺简单、低成本、低电压和大的扫描角度等优点.此外,将所制造的两个扫描镜进行合理组合,搭建了利萨如图形的显示装置,显示图案与Matlab软件仿真结果基本一致.
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| 关 键 词： | 集成光学 微光机电系统 扫描镜 绝缘体上硅 利萨如图形 激光投影 |
| 收稿时间： | 2011-11-17 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
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