| 质子交换LiTaO3光波导特性及晶格常数变化 |
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| 引用本文： | 马少杰,廖燕平,邓文渊,张红坡,李玉善,刘弦.质子交换LiTaO3光波导特性及晶格常数变化[J].发光学报,2001,22(4):417-421. |
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| 作者姓名： | 马少杰 廖燕平 邓文渊 张红坡 李玉善 刘弦 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
2. 深圳赛格集团, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，59982007， |
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| 摘 要： | 采用气相质子交换方法，在Z－切LiTaO3晶体表面制备平面光滑波导层。样品制备采用245℃苯甲酸气体，在LiTaO3晶体在－C和＋C表面交换8－20小时。质子交换层在LiTaO3表面形成，并用棱镜耦合测量波导样品。然后在HF：HNO3酸中用化学方法腐蚀波导层，并用电子显微镜观测光波导层与补底界面的形貌。用X射线衍射法，测量LiTaO3质子交换光波层的晶格常数变化。用双晶X射线测量质子交换（PE）和退火质子交换（APE）波导层晶格常数的变化。样品的X射线衍射曲线表明，PE和APE波导晶格常数的变化不同。实验中，还测量了有无极畴反转LiTaO3晶格常数的改变。
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| 关 键 词： | 质子交换光波导 LiTaO3 晶格常数 钽酸锂 晶体 |
| 文章编号： | 1000-7032(2001)04-0417-05 |
| 修稿时间： | 2001年8月8日 |
Lattice Constant Change and Characteristic of Proton-exchanged LiTaO3 Waveguide Layer |
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| MA Shao-jie,LIAO Yan-ping,DENG Wen-yuan,ZHANG Hong-po,LI Yu-shan,LIU Xian.Lattice Constant Change and Characteristic of Proton-exchanged LiTaO3 Waveguide Layer[J].Chinese Journal of Luminescence,2001,22(4):417-421. |
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| Authors: | MA Shao-jie LIAO Yan-ping DENG Wen-yuan ZHANG Hong-po LI Yu-shan LIU Xian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | proton-exchanged waveguide LiTaO3 lattice constant |
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