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| 激光共聚焦扫描显微镜技术简介及其应用 | |
| 引用本文： | 廖奕鸥, 冯辉, 张重远. 激光共聚焦显微镜测量表面粗糙度的探究[J]. 分析测试技术与仪器, 2023, 29(2): 203-208. DOI: 10.16495/j.1006-3757.2023.02.010 |
| 作者姓名： | 廖奕鸥 冯辉 张重远 |
| 作者单位： | 1.中国科学院 金属研究所 分析测试中心,辽宁 沈阳 110016 |
| 摘 要： | 介绍了利用激光共聚焦显微镜对不同粗糙度标准样块表面进行粗糙度测量时,各试验参数对测量结果的影响. 对于标准样块,测得的面粗糙度（Sa）符合测量要求（示值误差≤5%）,最终确定合理的试验参数. 方法不但具有非接触、高分辨率、测量速度快的特点,同时可以获得被测表面的三维形貌,可以更加直观的对表面进行评价,使激光共聚焦显微镜能够更好的应用于工业材料表面轮廓分析领域. |
| 关 键 词： | 激光共聚焦显微镜 非接触 三维形貌 面粗糙度 |
| 收稿时间： | 2023-03-13 |
| 修稿时间： | 2023-05-12 |
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