| 溅射角分布形状与Spike效应的相关性 |
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| 引用本文： | 郑里平,崔福斋,王震遐,陶振兰,陶良,钟毅.溅射角分布形状与Spike效应的相关性[J].原子与分子物理学报,1987(4). |
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| 作者姓名： | 郑里平 崔福斋 王震遐 陶振兰 陶良 钟毅 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海原子核研究所，清华大学工程物理系，中国科学院上海原子核研究所，中国科学院上海原子核研究所，中国科学院上海原子核研究所，中国科学院上海原子核研究所 中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室，中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室 |
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| 摘 要： | Sigmund 69年提出的线性碰撞级联理论,成功地解决了多晶体与无定形的单元素靶的溅射产额问题。根据反冲原子速度分布是各向同性的假定,他又推导出单元素靶溅射角分布是cosine形状,即溅射角分布可用A(cosβ)”函数描述,其中形状指数n=1。但是不少实验事实表明,对于中等以上质量的离子和靶原子来说,当离子能≥10~1Kev数量级级时,单元素靶溅射角分布是 over——cosine形状,即形状指数n>1。产生这种现象的机制至今仍不清楚。本文认为:在整个碰撞级联中,不全是线性碰撞,
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| 关 键 词： | 碰撞级联 溅射角分布 Spike 效应损伤能量密度 |
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