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| P型多晶金刚石薄膜压阻效应的研究 * | |
| 作者姓名： | 方 亮 王万录** 丁培道 廖克俊 王 健 |
| 作者单位： | 1 重庆大学理学院应用物理系, 重庆400044 2 重庆大学材料学院材料学系, 重庆400044 |
| 摘 要： | 结合Mayadas-Shatzkes多晶模型 ,对硼掺杂多晶金刚石薄膜的压阻效应进行了分析和讨论 .结果认为 ,价带分裂和晶界散射的联合作用是导致P型多晶金刚石薄膜具有显著压阻效应的主要原因 .推导出考虑晶界散射时压阻因子的近似计算公式 ,计算结果与实际情况相符 . |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 压阻效应 晶界散射 价带分裂 |
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